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vom 12.4.2021
Entwicklung von großflächigen PECVD-Prozessen zur kontrollierten, homogenen Abscheidung dünner Siliziumschichten für die Photovoltaik
Grootoonk, Björn Olaf
Elektronische Ressource, Jülich : Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek, Verlag, 2019