Autor / Beteiligte
zu den FilteroptionenAutor / Beteiligte
Entwicklung von großflächigen PECVD-Prozessen zur kontrollierten, homogenen Abscheidung dünner Siliziumschichten für die Photovoltaik
Elektronische Ressource, Jülich : Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek, Verlag, 2019