Autor / Beteiligte : Grootoonk, Björn Olaf

1 Titel

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  Entwicklung von großflächigen PECVD-Prozessen zur kontrollierten, homogenen Abscheidung dünner Siliziumschichten für die Photovoltaik

  Grootoonk, Björn Olaf

  Elektronische Ressource, Jülich : Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek, Verlag, 2019